5.1 集成DFB激光器阵列 （面向大规模光子集成）

多波长DFB激光器阵列在超级计算机光互联中的应用以及阵列芯片示意图   

  多波长DFB半导体激光器阵列是光子集成芯片最为核心的部分。它为整个芯片以及系统提供高质量的光源，在光传输网和光互联等以及其他WDM大容量通讯系统中得到重要应用。目前，DFB激光器阵列主要采用电子束曝光，但是因其逐点扫描的方法刻写光栅条纹，该技术极其耗时且设备非常昂贵。REC技术能利用一次全息曝光与一次普通微米级光刻即可以等效实现各种光栅纳米级变化，适合低成本规模化制造。尤其是REC技术波长控制能力极高，可以实现波长的精准制造。基于REC技术，我们在国内落后的平台上实验了波长精度与波长数都世界纪录的结果——60波长DFB激光器阵列（Y. Shi, S. Li, X. Chen ,et.al, Scientific Reports, 4: 7377, (2014)）。随后，波长精度进一步实现高达±0.1nm（J. Lu, S. Liu, Q. Tang, H. Xu, Y. Chen, X. Chen, Optics letters, 40(22):5136-5139, (2015)）。因此，REC技术有望在低成本高端DFB激光器以及阵列方面实现突破。   

(a) 60波长激光器阵列的光栅示意图 (b)光谱测试结果   

多波长激光器阵列可实用化的封装模块